磁控溅射法沉积ITO薄膜其透过率

时间:2024-03-14 点赞:44773 浏览:86871 作者原创标记本站原创

该文是参考文献专业薄膜论文范文,主要论述了薄膜类有关研究生毕业论文开题报告,与磁控溅射法沉积ITO薄膜其透过率相关论文范文资料,适合薄膜及参考文献及压强方面的的大学硕士和本科毕业论文以及薄膜相关开题报告范文和职称论文写作参考文献资料下载。

【摘 要】 采用磁控溅射法,在室温,溅射功率为80W的条件下,选取不同的压强,在石英玻璃和聚酯薄膜(PET)衬底上分别制成了高透过率的ITO薄膜,并进行了性能对比,并得出柔性衬底的性能最优时的压强范围.

【关 键 词 】 ITO薄膜 磁控溅射法 PET

ITO薄膜是一种用途广泛的透明导电材料,其具有低电阻率、高可见光透射率、红外高反射比、良好的化学稳定性、玻璃基体结合牢固、抗擦伤以及半导体特性等优点.由于ITO薄膜材料具有优异的光电特性,其应用得到迅速发展,目前ITO薄膜的主要应用是在平面显示上,充当阳极.大面积柔性基底薄膜由于其质轻、价廉、便于实现多功能化而在国防和民用技术领域具有多种用途.

1.实验基本思路

室温条件下,溅射功率为80W时,控制实验中的压强变量,在普通材料石英玻璃与柔性材料PET上分别沉积ITO薄膜,并且对其进行透过率测试,从而对比其透过率差异从而得到ITO薄膜在柔性衬底上沉积的最优压强范围.

2.实验过程

材料包括:(1)普通材料石英玻璃;(2)柔性材料:PET,全称聚对苯二甲酸乙二醇酯,为高聚合物.其具有优良的耐高、低温性能;具有良好的强度,韧性和透明性,折射率为1.65,透光率达90%;PET薄膜电绝缘性较好,在较宽温度范围内变化较小,耐电晕性较差.

所用设备为中国地质大学(北京)材料物理实验室型号为JPGF-400的磁控溅射仪.

实验利用控制变量法分别控制压强条件,依据制备的ITO薄膜的透过率来判定膜的好坏程度.控制功率80W,压强分别在0.8pa、1.0pa、1.5pa、2.0pa的条件下,含氧量分别在1-1/40的范围内,分别得到多个ITO薄膜,选取每个衬底材料中4个压强条件下产出的透过率最好的一个ITO薄膜,并进行透过率测试,找到一个较好的压强范围.


3.实验结果

4.结语

在室温条件下,功率为80W时,PET衬底上沉积的ITO薄膜比石英玻璃上的具有略好的透过率,均大于80%.柔性衬底PET上沉积的ITO薄膜在压强为1.0pa左右,透过率最佳,平均值几乎达到了90%以上.这表明,PET衬底上若大面积沉积ITO薄膜,在透过率方面,完全可以很好的取代石英玻璃,并且更好的发挥出它质轻价廉的优势.

相关论文

磁法标本磁参数计算公式修改意见

本文是一篇单位论文范文,单位类专科毕业论文开题报告,关于磁法标本磁参数计算公式修改意见相关硕士毕业论文范文。适合单位及标本及参考文献。

财务内控对审计的影响

本文是一篇财务控制论文范文,财务控制类有关本科论文开题报告,关于财务内控对审计的影响相关开题报告范文。适合财务控制及财务内控及内部控。

我国民法之非制定法法源

本文关于民事法律及法理学及习惯法方面的免费优秀学术论文范文,民事法律方面有关论文范文例文,与我国民法之非制定法法源相关本科论文范文。

盾构法施工技术

本文是一篇盾构施工论文范文,盾构施工有关毕业论文开题报告范文,关于盾构法施工技术相关毕业论文格式范文。适合盾构施工及盾构及地下工程方。

社会经济视域下民商法的和变化

本文是一篇民商法论文范文,民商法类毕业论文格式模板,关于社会经济视域下民商法的和变化相关毕业论文提纲范文。适合民商法及互联网及社会经。

法学生文开题报告范文

本文是一篇个案论文范文,个案有关毕业论文开题报告范文,关于法学生文开题报告范文相关毕业论文参考文献格式范文。适合个案及人大及法院方面。