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【摘 要】 采用磁控溅射法,在室温,溅射功率为80W的条件下,选取不同的压强,在石英玻璃和聚酯薄膜(PET)衬底上分别制成了高透过率的ITO薄膜,并进行了性能对比,并得出柔性衬底的性能最优时的压强范围.
【关 键 词 】 ITO薄膜 磁控溅射法 PET
ITO薄膜是一种用途广泛的透明导电材料,其具有低电阻率、高可见光透射率、红外高反射比、良好的化学稳定性、玻璃基体结合牢固、抗擦伤以及半导体特性等优点.由于ITO薄膜材料具有优异的光电特性,其应用得到迅速发展,目前ITO薄膜的主要应用是在平面显示上,充当阳极.大面积柔性基底薄膜由于其质轻、价廉、便于实现多功能化而在国防和民用技术领域具有多种用途.
1.实验基本思路
室温条件下,溅射功率为80W时,控制实验中的压强变量,在普通材料石英玻璃与柔性材料PET上分别沉积ITO薄膜,并且对其进行透过率测试,从而对比其透过率差异从而得到ITO薄膜在柔性衬底上沉积的最优压强范围.
2.实验过程
材料包括:(1)普通材料石英玻璃;(2)柔性材料:PET,全称聚对苯二甲酸乙二醇酯,为高聚合物.其具有优良的耐高、低温性能;具有良好的强度,韧性和透明性,折射率为1.65,透光率达90%;PET薄膜电绝缘性较好,在较宽温度范围内变化较小,耐电晕性较差.
所用设备为中国地质大学(北京)材料物理实验室型号为JPGF-400的磁控溅射仪.
实验利用控制变量法分别控制压强条件,依据制备的ITO薄膜的透过率来判定膜的好坏程度.控制功率80W,压强分别在0.8pa、1.0pa、1.5pa、2.0pa的条件下,含氧量分别在1-1/40的范围内,分别得到多个ITO薄膜,选取每个衬底材料中4个压强条件下产出的透过率最好的一个ITO薄膜,并进行透过率测试,找到一个较好的压强范围.
3.实验结果
4.结语
在室温条件下,功率为80W时,PET衬底上沉积的ITO薄膜比石英玻璃上的具有略好的透过率,均大于80%.柔性衬底PET上沉积的ITO薄膜在压强为1.0pa左右,透过率最佳,平均值几乎达到了90%以上.这表明,PET衬底上若大面积沉积ITO薄膜,在透过率方面,完全可以很好的取代石英玻璃,并且更好的发挥出它质轻价廉的优势.